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  • 智能型HMDS真空系統(JS-HMDS90-AI)
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抗粘劑蒸鍍機,抗粘層鍍膜機
    發布時間: 2021-09-26 13:42    

抗粘劑蒸鍍機,抗粘層鍍膜機的應用:

  納米壓印是一種不同于傳統光刻技術的全新圖形轉移技術,其能夠把納米圖形從模板“復制”到基片上,具有產量高、成本低和工藝簡單的優點。為實現一些特殊形狀的壓印,需要提供一種具有納米結構的彈性模板。 為了制作納米壓印彈性模板,一般是提供一具有納米壓印結構的母板,繼而將納米壓印膠均勻地涂覆到沉積了抗粘層的母板上,然后再在納米壓印膠層遠離母板的一側涂覆形成有一彈性支撐層,在彈性支撐層固化后,將彈性支撐層與母板分開。  

  在基片與彈性支撐層之間還形成有抗黏層,抗黏層一般由全氟辛基三氯硅烷或全氟癸基三氯硅烷形成。然而抗粘劑的蒸鍍,尤為重要。

抗粘劑蒸鍍機,抗粘層鍍膜機技術性能:

腔體尺寸:350×350×350、450×450×450、600×600×600(mm)可自定
材質: 316L醫用級不銹鋼
溫度范圍:80-250℃
溫度分辨率: 0.1℃
溫度波動度: ≤±0.5
真空度:≥1torr

真空泵:干泵
電源及總功率:AC 220V±10% / 50HZ , 2.5KW    
控制方式:人機界面+PLC智能

輔助氣體: 氮氣(N?)

抗粘劑:一路或2路

鍍膜方法:氣相成底膜

抗粘劑蒸鍍機,抗粘層鍍膜機的特點

鍍膜處理更加均勻;

時間短,效率高;

更加節省抗粘劑;

更加環保和安全;

自動吸取抗粘劑。

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