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作
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態
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，
個產品，
對待每一
做到極致認真
每一個零件
細
致
致
每一組數據
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智能型HMDS真空系統（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮氣烘箱，精密充氮烘箱
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LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
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熱風循環真空烘箱，高溫熱風真空烤箱
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HMDS預處理系統(JS-HMDS90 )
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智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
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真空無氧固化爐，高溫無氧烘箱
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HMDS增粘裝置，涂敷HMDS增粘劑的裝置
發布時間: 2022-03-07 16:50
HMDS增粘裝置，涂敷HMDS增粘劑的裝置用途：
HMDS增粘裝置通過對箱體內預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，增加了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。
HMDS增粘裝置，涂敷HMDS增粘劑的裝置技術性能：
尺寸（深*寬*高）：
內腔尺寸：300×300×300（mm）
外形尺寸：500×680×780（mm）
材質 ：外箱采用優質不銹鋼，內箱采用316L醫用級不銹鋼
溫度使用范圍： 80-200℃
溫度分辨率： 0.1℃
溫度波動度： ≤±0.5
真空度： ≤100pa（1torr）
潔凈度: 設備采用無塵材料，適用100級光刻間凈化環境
電源及總功率: AC 220V±10% / 50HZ ， 總功率約2.5KW
控制儀表: 人機界面
擱板層數: 一層
HMDS控制： 可控制HMDS藥液添加量
真空泵： 無油渦旋真空泵
HMDS增粘裝置，涂敷HMDS增粘劑使用環境
安裝設備使用空開電源，220V、3.0KW ；
工業用氮氣純度99.999%，壓力0.2MP，?8mm軟管快插接口；
尾氣排放KF25閥接口；
周圍無強烈電磁場影響，周圍無強烈震動；
潔凈車間，周圍無高濃度粉塵及腐蝕性物質；
無陽光直接照射或其它熱源直接輻射；
周圍無強烈氣流，當周圍空氣需要強制流動時，氣流不應在直接吹到箱體上；
設備應放在堅固平穩的平面上，并使其保持水平狀態；
環境溫、濕度5℃～＋35℃，相對濕度：≤85%；
