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一．無塵無氧烤箱，智能無塵無氧烤箱概述
      無塵無氧烤箱，智能無塵無氧烤箱應用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業.智能無氧烤箱可以使用TCP / IP（使用HSMS標準，SEMI E37）或基于RS-232的協議與支持GEM的主機進行通信。通常這兩種協議都受支持。每臺設備都可以使用由GEM指定的通用SECS-II消息進行監控和控制。
     智能制造主要指生產線現場的生產過程管理、現場監控和控制等，包括智能工廠生產過程的數據采集及分析，實現生產過程、設備、資源監控的可操作和可視化；要能支持采集不同現場設備數據的要求，支持將生產數據及設備故障信息顯示在監控站的屏幕上，實現生產過程的動態監控與管理；實現智能設備、機器人和生產線、用戶全流程互聯對話，實現人機、機機互聯下的高品質、高效、柔性自動化生產等。
二．無塵無氧烤箱，智能無塵無氧烤箱技術參數
1.主要技術指標

? 材質：外箱采用優質不銹鋼，內箱采用SUS304不銹鋼
? 溫度范圍：RT+10-200/450℃
? 溫度分辨率：0.1℃
? 溫度波動度：＜±1℃
? 溫度均勻度：≤±2%
? 潔凈度：class 100，設備采用無塵材料，適用100級光刻間凈化環境
? 升溫時間：5-8℃/min，（空箱測試）
? 降溫時間：可滿足130℃-50℃，降溫5℃/min（空箱測試）
? 氧含量
高溫狀態氧含量：≤ 20ppm +氣源氧含量
低溫狀態氧含量：≤ 50ppm +氣源氧含量
? 數據輸出：溫度和氧含量無紙記錄儀
2.系統結構

? 熱風循環系統：采用進口覆套式電熱器（SHEATHED HEATER）無塵無氧化電熱發生器
箱體后部裝有離心循環風機、氮氣進氣口和排氣口，離心風機將箱內加熱的熱風與進氣口的新鮮氮氣混合，一部分氣體混合烘干處理產生的廢氣物從排氣口排出，大部分氣體進入箱體兩側的循環風道，攜帶加熱器產生的熱量，進入箱體內對產品進行加熱烘烤，然后由離心風機重新吸回，從而往返循環
? 氣體系統：愛美克H.E.P.A，(特殊風道設計)過濾效果可達99.99%,Class100
箱體內裝有氧含量分析儀，全稱檢測氧含量，并記錄數據排氣口采用自動風門設計以達到強烈的循環效果及快速降溫，進氣口加附N2流量計控制進氣量，入氣口10mm氧含量可達到40PPM以下
? 水冷系統：翅片式水冷散熱器，當箱體內部溫度低于200℃時，冷卻水通過散熱器快速帶走更多的熱量，使得箱內溫度快速下降，縮短降溫時間，提高生產效率水冷電機，設有低水壓報警，防止電機過熱損壞水套水冷，設有低水壓報警，防止密封圈過熱損壞及老化
? 溫控系統：采用日本RKC-PF900溫度控制器，內置斜率設定、PID自整定、高溫上限報警、熱電偶失效指示等多種功能采用日本橫河六通道巡回檢測，有紙記錄儀，可將烤箱內實時環境溫度進行檢測打印
? 軟件系統：控制系統采用日本三菱公司FX3G系列高速型邏輯控制器，可與現場總線聯機遠程操控
? SECS / GEM是用于設備到主機數據通信的半導體設備接口協議。在自動化工廠中，接口可以啟動和停止設備處理，收集測量數據，更改變量并為產品選擇配方。 SECS（SEMI設備通信標準）/ GEM（通用設備模型）標準以確定的方式完成所有這些工作。
3. 安全保護性能

? 報警功能： 1）三色報警燈  2） 超溫報警    3）熱電偶故障報警   4）低水壓報警
? 安保功能：1）短路保護
2）漏電保護
3）超溫保護，獨立感溫式超溫保護器
4）電機保護，電機過電流、水冷保護
5）電磁門禁保護，當溫度超過100℃，電子鎖自動鎖緊，防止高溫開門
三、無塵無氧烤箱，智能無塵無氧烤箱安裝條件
? 環境溫、濕度5℃～＋35℃，相對濕度：≤85%；
? 周圍無強烈震動；    
? 無陽光直接照射或其它熱源直接輻射，
? 周圍無強烈電磁場影響；
? 周圍無高濃度粉塵及腐蝕性物質；
? 百級潔凈車間；
? 周圍無強烈氣流，當周圍空氣需要強制流動時，氣流不應在直接吹到箱體上；
? 設備應放在堅固平穩的平面上，并使其保持水平狀態；
? 安裝設備使用空開電源 ；
四．無塵無氧烤箱，智能無塵無氧烤箱運行監控分析技術
       智能無塵無氧烤箱運行監控分析技術，通過物聯網向制造企業提供針對產品的遠程智能服務，包括遠程監控、遠程預警、遠程維護、數據分析等。智能服務拓展到產品的全生命周期管理。產品智能化服務系統包括產品遠程監護與維護平臺、基于大數據挖掘的產品使用分析系統、智能手機APP自助服務系統，實現功能包括以下幾類：
●  對各類產品的多種數據進行采集、存儲；
●  及時分析用戶使用典型行為；
● 為客戶提供優化解決方案及實時監控產品使用情況的綜合服務；
● 產品智能化服務的成功應用可以大大提高工作效率，服務維護成本顯著降低，產品差異化程度提升。