就
是
對
待
工
作
的
態
度
，
個產品，
做到極致認真
致
每一組數據
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智能型HMDS真空系統（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮氣烘箱，精密充氮烘箱
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LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
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熱風循環真空烘箱，高溫熱風真空烤箱
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HMDS預處理系統(JS-HMDS90 )
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智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
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真空無氧固化爐，高溫無氧烘箱
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精密烤膠臺，高精度烘膠機
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超低溫試驗箱，零下-120度高低溫箱
產 品 中 心
products
桌上型無氧烘箱 實驗高溫無氧固化爐 真空無氧烤箱
桌上型無氧固化爐是一種專為高精度電子元件、IC/芯片、PI/BCB/CPI/BPO等膠水等材料設計的緊湊型固化設備，結合無氧環境與高效加熱技術，確保材料在固化過程中避免氧化。以下是相關產品的綜合信息：
一、桌上型無氧烘箱 實驗高溫無氧固化爐 真空無氧烤箱類型與特點
真空無氧固化爐
采用真空環境與充氮技術，確保無氧條件，適用于PI膠、BCB膠等高精度材料固化。
支持PLC全自動控制，溫度范圍可達400℃以上，內膽采用SUS304/316不銹鋼材質，確保潔凈度與耐用性。
智能型無氧烘箱
集成智能烘箱管理系統，支持TCP/IP協議對接工廠系統，實現自動化烘烤。
潔凈等級高，含氧量可控制在10ppm以下，適合IC晶圓、MEMS等無塵環境應用
小型桌面型設備
緊湊設計，實驗專用。
使用微量氮氣，耗氣量***，無需冷卻水。
二、核心參數與配置
適用產品：1-8寸晶圓、方片或碎片
溫度控制?：RT+50–400℃
溫度波動度：≤±1℃
氧含量：含氧量可低至10ppm以下，配備進口氧含量分析儀實時監測
升溫速率：1-10℃/min,速率可調
升溫方式：多段程控式，支持20段程序升溫
降溫速率：輔助降溫
真空度：≤ 1torr
氣體系統：自動控制充氮閥門+可調式流量計
排 氣 口：KF16
真空泵：渦旋干泵（進口）結構設計：內膽為優質不銹鋼，全周氬弧焊無縫處理，外箱保溫材料超細陶瓷纖維
操作界面：人機界面+PLC，可一鍵運行，多個工藝編輯
三、桌上型無氧烘箱 實驗高溫無氧固化爐 真空無氧烤箱典型應用場景?
電子制造：IC封裝、晶圓固化、指紋識別模組等無氧環境下的膠水固化。
精密材料：PI膠、BCB膠、導電膠的真空無氧固化，避免氧化導致的性能劣化?。
實驗室研發：小型桌面設備適合實驗室小批量樣品處理，快速干燥。
桌上型無氧烘箱 實驗高溫無氧固化爐供應商上海雋思儀器
